新華社北京6月29日電(記者烏夢(mèng)達(dá)、趙旭)“100年,中國(guó)‘芯'”。在慶祝中國(guó)共產(chǎn)黨建黨百年之際,北京航空航天大學(xué)科研工作者在5個(gè)原子層厚的納米磁性薄膜上寫下這幾個(gè)字。這個(gè)厚度相當(dāng)于一張普通打印紙的十萬分之一。
6月24日,在北京航空航天大學(xué),集成電路學(xué)院科研人員在5個(gè)原子層厚的納米磁性薄膜上寫下“100年”。新華社記者鞠煥宗攝
磁性芯片生產(chǎn)過程中,需將納米磁性薄膜均勻鋪在晶圓(制作硅半導(dǎo)體集成電路所用的襯底)上。確保所有晶圓完全“躺平”有多難?北航集成電路學(xué)院工藝與裝備系教師張學(xué)瑩表示,其相當(dāng)于在北京的海淀區(qū)地面上均勻鋪滿5層厚的小米粒,且須完全平整,“因此,檢測(cè)薄膜的平整度尤為關(guān)鍵?!?
張學(xué)瑩介紹,科研人員利用檢測(cè)儀器,通過微小的磁性針尖在薄膜上寫字,若字的顏色對(duì)比度一致、字跡清晰,則表明薄膜有良好的均勻性。完成平整度檢測(cè)后,將納米薄膜制成器件,封裝后形成芯片。
6月24日,在北京航空航天大學(xué),集成電路學(xué)院科研人員(前)在5個(gè)原子層厚的納米磁性薄膜上寫下“中國(guó)芯”。新華社記者鞠煥宗攝
該檢測(cè)儀器,正是由北航集成電路學(xué)院科研團(tuán)隊(duì)研發(fā)的晶圓級(jí)磁光克爾測(cè)試儀。
北航集成電路學(xué)院工藝與裝備系主任王新河說,磁性芯片可作為高可靠的信息存儲(chǔ)模塊和高靈敏的磁信號(hào)傳感模塊,應(yīng)用于飛機(jī)、衛(wèi)星的控制系統(tǒng),以及手機(jī)電子羅盤、汽車自動(dòng)駕駛等領(lǐng)域。而磁性芯片生產(chǎn)過程中的磁性薄膜檢測(cè)這一關(guān)鍵技術(shù),屬于我國(guó)長(zhǎng)期被“卡脖子”的技術(shù)。
“對(duì)比國(guó)外同類設(shè)備,這臺(tái)儀器在測(cè)試精度和速度等方面進(jìn)行了技術(shù)革新,實(shí)現(xiàn)了自主創(chuàng)新突破?!蓖跣潞诱f。
6月24日,在北京航空航天大學(xué),集成電路學(xué)院科研人員在用磁性筆尖檢測(cè)納米薄膜的磁性。新華社記者鞠煥宗攝
據(jù)了解,該儀器現(xiàn)已應(yīng)用于科研領(lǐng)域,且預(yù)計(jì)于今年10月在產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域投入商用。
早在1993年,中國(guó)科學(xué)院科研團(tuán)隊(duì)就用10個(gè)原子擺出“中國(guó)”字樣,標(biāo)志著我國(guó)可自主實(shí)現(xiàn)原子操縱。如今,用于書寫“100年,中國(guó)‘芯’”的晶圓級(jí)磁光克爾測(cè)試儀,為具有百億元市場(chǎng)規(guī)模的磁性芯片產(chǎn)業(yè)提供設(shè)備支撐。
從“中國(guó)”,到“100年,中國(guó)‘芯’”,背后的科研突破成為我國(guó)高科技自主創(chuàng)新能力不斷提升、國(guó)家科技力量持續(xù)增強(qiáng)的一個(gè)縮影。
“作為科研一線的基層黨員,我覺得扎實(shí)搞研究、實(shí)現(xiàn)創(chuàng)新突破,便是我們對(duì)建黨百年最好的獻(xiàn)禮?!睆垖W(xué)瑩說。
(編輯:映雪)